擴散硅壓力傳感器的優缺點

擴散硅壓力傳感器的優點:

1、信號輸出大：擴散硅壓力傳感器的輸出大是它很了不起的一個優點，因為輸出大為后端的變送調理線路提供了很大的優勢條件，分辨率高，靈敏度高。

2、可進行二次補償：擴散硅壓力傳感器的靈敏度溫度系數和零點溫度系數能夠進行補償，即使成品芯體也可進行二次補償，所以傳感器的優點容易發揮到*。

3、價格相對便宜，性價比高，這也是擴散硅壓力傳感器在我們國家能夠廣泛應用的一個原因。實際上，如果性能能夠達到要求的話，選用國產擴散硅壓力傳感器不失為一種經濟實惠的作法。另外我們也要為支持我們的民族產業作一點貢獻吧。

4、體積小巧，利于安裝。下圖為一種典型的擴散硅壓力傳感器制造的壓力變送器實物圖。

擴散硅壓力傳感器的缺點:

1、耐高溫能力有限。擴散硅壓力傳感器的基礎材料"硅"決定了傳感器的耐溫是有限的。通常情況下-10-60度可以保證精度。溫系的補償也只能在這個范圍內進行。

2、相對于濺射膜壓力傳感器和電容式壓力變送器抗惡劣環境能力有限，這也是一些工業現場放棄擴散硅壓力傳感器的一個重要原因。

3、與濺射膜壓力傳感器相比，擴散硅壓力傳感器不合適大量程壓力程測量，擴散硅壓力傳感器zui大壓力一般能做到35MPa，也有廠家號稱可以做到60MPa，擴散硅壓力傳感器不適合大壓力的液壓測量場合，濺射膜壓力傳感器zui大壓力可大220MPa。

4、擴散硅壓力傳感器不合適流體中含有固體顆粒的介質壓力測量，擴散硅壓力傳感器由于采用波紋膜片作為介質隔離，波紋膜片比較脆弱，介質中含有固體顆粒非常容易損壞膜片，因此對介質要求比較嚴格。

5、容易泄漏測量介質，擴散硅壓力傳感器的結構上的弱點使它在高過載的情況下容易造成測量介質的泄漏。硅材料在過壓的情況下會發生斷裂。(俗稱:"沖片")而濺射膜不會這樣。過載后自行恢復，zui壞的情況是影響測量精度。